Выбор ВЧ генератора для плазменной установки — задача, от которой напрямую зависит стабильность технологического процесса. Неправильно подобранный генератор приводит к нестабильному зажиганию плазмы, перегрузкам и преждевременному выходу оборудования из строя.

Шаг 1. Определите рабочую частоту

Наиболее распространённые частоты в плазменных технологиях:
- 13,56 МГц — стандарт для ионно-плазменного напыления, травления и осаждения (PECVD)
- 2,64 МГц / 1,76 МГц — установки с ёмкостной связью, крупные камеры
- 27,12 МГц — высокочастотные плазменные источники
- 40,68 МГц / 81,36 МГц — специализированные применения

Если ваша установка работает на нестандартной частоте — возможно изготовление генератора под ТЗ заказчика.

Шаг 2. Определите необходимую мощность

Выходная мощность подбирается исходя из объёма плазменной камеры, давления рабочего газа и требуемой скорости осаждения или травления. Серия GLine+ перекрывает диапазон 0,6 — 10 кВт

Важно учитывать не только номинальную мощность, но и диапазон её регулировки. Генераторы GLine+ обеспечивают регулировку от 0,5% до 100% номинальной мощности — это критично для установок с переменными режимами работы.

Шаг 3. Оцените характер нагрузки

Плазменная нагрузка — реактивная и нестабильная. Для работы с ней необходимо **согласующее устройство (matchbox)**. Подбирается исходя из импеданса нагрузки и рабочей частоты.

Серия АВСУ от HFPower совместима со всеми генераторами GLine и GLine+.

Шаг 4. Импортозамещение

Если вы эксплуатируете генераторы **Advanced Energy, Seren, Comet, Comdel** и ищете замену — генераторы GLine+ являются функциональными аналогами по основным параметрам. Для уточнения совместимости обратитесь к нашим специалистам.

📧 tech@hfpower.ru | 📞 +7-903-653-55-17