ВЧ генераторы в вакуумном исполнении предназначены для работы внутри вакуумных камер и в условиях открытого космоса. От "обычных" генераторов они отличаются исполнением системы охлаждения, а так же выбором соответствующих комплектующих изделий. В них, например, полностью отсутствуют электролитические конденсаторы.